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本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种用于晶圆清洗的超声清洗装置，包括清洗腔、驱动结构、移动臂，所述驱动结构的输出端贯穿清洗腔与旋转臂固定连接。该用于晶圆清洗的超声清洗装置，伺服结构的移动速度随着靠近移动台的中心逐渐加速，与靠近中心位置的...
该专利属于谢广钦所有，仅供学习研究参考，未经过谢广钦授权不得商用。

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