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本申请公开一种晶圆边缘抛光机构及晶圆边缘抛光装置，其中，所述晶圆边缘抛光机构包括抛光转盘和边缘抛光组件，抛光组件更包括翻转主体以及分别设于翻转主体相对两端的边缘抛光件和页片，通过驱动抛光转盘旋转，利用页片可带动边缘抛光组件相对抛光转盘作预设...
该专利属于天通日进精密技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天通日进精密技术有限公司授权不得商用。

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