温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体制品附属装置的技术领域，特别是涉及一种半导体材料研磨液生产用反应釜；方便放出工作腔内的全部物料，给使用者带来便利；并且，其工作模式较为多样，从而提高其使用可靠性；包括机箱、挡板、减速机、电加热棒和驱动电机，机箱内设置有工...
该专利属于石家庄优士科电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过石家庄优士科电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。