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本实用新型涉及无线通信射频前端器件技术领域，提供了一种空腔内设置缓冲支撑结构的薄膜体声波谐振器及通信器件，该谐振器包括带空腔的绝缘体硅基片和压电三明治结构；压电三明治结构包括顶电极、压电薄膜层和底电极，顶电极、压电薄膜层和底电极依次堆叠，压...
该专利属于浙江赛威通信技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江赛威通信技术有限公司授权不得商用。

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