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本申请涉及一种真空吸盘的供气管路及激光退火机台，涉及半导体集成电路制造设备，通过在氮气管路上增加一氮气流量监测装置，用于检测氮气的流量，在产品晶圆的工艺过程后可以确保真空吸盘上的真空完全释放，使产品晶圆顺利的被顶针顶起，解决了因氮气管路异常...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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