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金属化叠层及其制造方法及包括金属化叠层的电子设备技术
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文档序号:23707914
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公开了一种金属化叠层及其制造方法及包括这种金属化叠层的电子设备。根据实施例,金属化叠层可以包括在衬底上交替设置的至少一个互连线层和至少一个过孔层。金属化叠层中至少一对相邻的互连线层和过孔层包括互连线层中的互连线以及过孔层中的过孔。互连线层比...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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