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本发明提供一种输送单元及同时装载间隔水平距离的处理管的方法。输送单元具有沿用于移入或移出衬底载体的方向的第一方向直线延伸的水平导引装置、以可以在第一方向上沿水平导引装置运动的方式受到导引的竖直导引装置、以可以沿竖直导引装置上下运动的方式受到...
该专利属于商先创国际股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过商先创国际股份有限公司授权不得商用。

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