下载湿法处理设备及其操作方法的技术资料

文档序号:23707839

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种湿法处理设备,用于对基板进行湿法处理,所述湿法处理设备包括:槽体,适于容纳处理液,所述槽体包括至少一个侧壁,所述至少一个侧壁设置有连通所述槽体的内侧与外侧的开口;固定装置,配置为将所述基板固定于所述侧壁的开口处。本公开还涉及一...
该专利属于PYXISCF私人有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过PYXISCF私人有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。