下载激光照射装置及其驱动方法的技术资料

文档序号:23707830

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本公开涉及激光照射装置及其驱动方法,该激光照射装置包括台、激光照射单元、图像获取单元和控制单元,其中,台供衬底设置于其上,激光照射单元将激光照射到台上的衬底,图像获取单元获取衬底的预定区域的图像,控制单元电连接到激光照射单元和图像获取单元,...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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