激光照射装置及其驱动方法制造方法及图纸

本公开涉及激光照射装置及其驱动方法，该激光照射装置包括台、激光照射单元、图像获取单元和控制单元，其中，台供衬底设置于其上，激光照射单元将激光照射到台上的衬底，图像获取单元获取衬底的预定区域的图像，控制单元电连接到激光照射单元和图像获取单元，其中，控制单元计算与从图像获取单元提供的图像的灰度值的平均值对应的亮度值，将计算出的亮度值与基准亮度值进行比较，并且输出基于将所计算出的亮度值与基准亮度值进行比较的结果的、关于激光的性能的数据。

Laser irradiation device and its driving method

【技术实现步骤摘要】
激光照射装置及其驱动方法相关申请的交叉引用本申请要求于2018年10月1日提交的第10-2018-0117114号韩国专利申请的优先权以及从其获得的所有权益，该韩国专利申请的内容通过引用以其整体地并入本文。
本公开的示例性实施方式涉及激光照射装置、激光照射装置的驱动方法以及使用该激光照射装置制造显示装置的方法，并且更具体地，涉及能够实时地监测激光的性能的激光照射装置、激光照射装置的驱动方法以及使用该激光照射装置制造显示装置的方法。
技术介绍
通常，激光照射装置可用于制造半导体装置或显示装置。例如，在用熔料密封两个玻璃衬底之间的显示单元的结构中，熔料可使用激光来熔化并粘合到玻璃衬底。另外，激光可用于切割半导体晶片或玻璃衬底，将两个薄膜或衬底彼此分离，或者图案化预定的薄膜。
技术实现思路
当使用激光照射装置制造半导体装置或显示装置时，激光的能量密度或强度可能在重复使用期间发生变化或被控制。因此，期望的是保持激光性能均匀性以减少缺陷并且改善产品的可靠性。一个或多个示例性实施方式提供了能够实时地监测激光的性能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.激光照射装置，包括：/n台，供衬底设置于其上；/n激光照射单元，将激光照射到所述台上的所述衬底；/n图像获取单元，获取所述衬底的预定区域的图像；以及/n控制单元，电连接到所述激光照射单元和所述图像获取单元，/n其中，所述控制单元计算与从所述图像获取单元提供的所述图像的灰度值的平均值对应的亮度值，将计算出的亮度值与基准亮度值进行比较，并且输出关于所述激光的性能的数据，所述数据基于将所计算出的亮度值与所述基准亮度值进行比较的结果而获得。/n

【技术特征摘要】
20181001 KR 10-2018-01171141.激光照射装置，包括：
台，供衬底设置于其上；
激光照射单元，将激光照射到所述台上的所述衬底；
图像获取单元，获取所述衬底的预定区域的图像；以及
控制单元，电连接到所述激光照射单元和所述图像获取单元，
其中，所述控制单元计算与从所述图像获取单元提供的所述图像的灰度值的平均值对应的亮度值，将计算出的亮度值与基准亮度值进行比较，并且输出关于所述激光的性能的数据，所述数据基于将所计算出的亮度值与所述基准亮度值进行比较的结果而获得。


2.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，所述图像获取单元包括电荷耦合装置和互补金属氧化物半导体中的至少一种。


3.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，
所述基准亮度值是根据在将所述激光照射到所述衬底之前由所述图像获取单元获取的图像的灰度值计算的，以及
用于计算所述基准亮度值的所述图像是在所述衬底的所述预定区域中获取的。


4.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，所计算出的亮度值是根据在将所述激光照射到所述衬底之后由所述图像获取单元获取的所述图像的所述灰度值计算的。


5.如权利要求1所述的激光照射装置，其中，所述衬底的所述预定区域包括对准标记和识别标记中的一种。


6.激光照射装置的驱动方法，所述驱动方法包括：
在所述激光照射装置的台上设置衬底；
获取所述衬底的第一区域中的第一图像；
计算与所述第一图像的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑煜然，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR