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提供一种能够通过简易的结构使投影光学系统的数值孔径变化的曝光装置以及物品的制造方法。在具有将掩模的图案投影于基板的投影光学系统的曝光装置中，在投影光学系统的曲面形状的光瞳面或者其近旁配置第一光阑和第二光阑，该第一光阑为规定第一尺寸的开口径的...
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