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本发明提供了一种压力控制装置及投影物镜装置，所述压力控制装置包括：驱动机构及与所述驱动机构连接的腔室，所述腔室与所述投影物镜连通，所述驱动机构根据所述投影物镜中绝对压力情况驱动所述腔室的容积发生变化，以实现对所述投影物镜中绝对压力的调节。由...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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