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本发明公开了一种掩模板密封整形装置，包括整形框架和设置在整形框架一侧的整形玻璃，整形框架上开设有真空通道，掩模板密封整形装置还包括密封圈，密封圈设置在整形框架的另一侧上，用于与需整形的掩模板密封形成封闭空间，真空通道与密封空间连通。上述掩模...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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