下载一种监测系统及监测方法的技术资料

文档序号:23702996

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本发明提供一种监测系统及监测方法,应用于晶圆测试设备的测试结果监测技术领域,所述监测系统至少包括:信号采集模块,用于采集待测试晶圆的测试开始信号和测试结束信号;信号处理模块,与所述信号采集模块相连,并接收所述测试开始信号和所述测试结束信号,...
该专利属于合肥晶合集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路有限公司授权不得商用。

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