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本发明公开一种大口径光学元件面形拼接检测方法,包括步骤:根据待测光学元件的光学参数将待测光学元件划分成多个拼接的子孔径,并规划子孔径分布和拼接测量轨迹;激光干涉仪按照拼接测量轨迹依次测量全部子孔径,并获取各个子孔径的相位分布;确定基准子孔径...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明公开一种大口径光学元件面形拼接检测方法,包括步骤:根据待测光学元件的光学参数将待测光学元件划分成多个拼接的子孔径,并规划子孔径分布和拼接测量轨迹;激光干涉仪按照拼接测量轨迹依次测量全部子孔径,并获取各个子孔径的相位分布;确定基准子孔径...