下载一种激光加工形态性能时间分辨共焦光谱测量方法及装置的技术资料

文档序号:23701737

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本发明公开了一种激光加工形态性能时间分辨共焦光谱测量方法及装置,属于激光加工在线检测领域。本发明利用连续激光共焦光路对材料表面进行轴向精确定位,利用飞秒激光对材料进行加工,利用不同延迟时间的飞秒脉冲激光对材料进行光谱探测以获得材料性能参数,...
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