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本发明公开了一种基于力位控制的复杂曲面微纳结构加工的实验装置及方法，其中实验装置包括基板、调平台、样品夹具、金刚石探针、力传感器、Z向精密纳米位移平台、Z向微位移平台、Y向微位移平台和X向微位移平台；所述样品夹具通过调平台安装于基板上，所述...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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