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本申请提供一种在基板中形成微细结构的方法及微细结构，该方法包括：在基板的表面形成复数个孔洞，所述孔洞的横向尺寸为0.1‑5微米；以及将具有所述复数个孔洞的所述基板在氢气气氛中进行加热到预定温度的处理，通过所述处理，所述复数个孔洞在所述基板的...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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