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本发明提供一种低温样品支架，所述低温样品支架位于真空腔内，至少包括：电动运动机构，制冷装置以及三维移动装置；其中，所述电动运动机构用以通过电驱动使样品相对所述制冷装置运动，所述制冷装置用以实现所述样品的低温温度，所述三维移动装置用以实现所述...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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