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本发明提供以下的技术，具备：高频电源，其用于向等离子体产生部供给电源；匹配器，其设置在上述高频电源与上述等离子体产生部之间，用于取得上述等离子体产生部的负载电阻与上述高频电源的输出电阻的匹配，上述高频电源具备：高频振荡器，其振荡产生高频；指...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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