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本发明公开了一种MEMS麦克风及其制造方法。所述方法包括：在衬底上依次形成第一隔离层、膜片和第二隔离层；在第二隔离层上依次形成第一保护层、背极板电极和第二保护层；形成贯穿第一保护层、背极板电极和第二保护层的释放孔；形成贯穿衬底的声腔；经由声...该专利属于杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰微电子股份有限公司授权不得商用。