下载一种TFT-LCD铝蚀刻液的技术资料

文档序号:23665200

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本发明公开了一种TFT‑LCD铝蚀刻液配方,其特征在于,按照重量份数计算,包括:无机酸60‑70份,无极强酸5‑10份,调节剂10‑15份,缓蚀剂0.1‑1份,络合剂0.1‑1份。本发明的有益效果:该蚀刻液增加了新型酰胺类络合剂络合剂,蚀刻...
该专利属于苏州博洋化学股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州博洋化学股份有限公司授权不得商用。

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