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一种低放射性非晶态球形硅微粉的制备方法，属于无机非金属材料技术领域。该低放射性非晶态球形硅微粉的制备方法包括以下步骤：S1，配置硅烷水解液并采用非极性非水溶性有机溶剂配置油相溶液；S2，将步骤S1制得的硅烷水解液与油相溶液混合均匀，乳化反应...
该专利属于苏州纳迪微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州纳迪微电子有限公司授权不得商用。

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