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本实用新型公开了一种单晶硅片的双面抛光装置，包括机身，机身的上方水平布置有顶板，机身上连接有导柱，导柱上可上下滑动地套接有升降盘，顶板上布置有液压缸；升降盘中下端固定连接有第一转轴，第一转轴上可转动地连接有上抛光盘；机身上端可转动地布置有连...
该专利属于江苏晶成光学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晶成光学有限公司授权不得商用。

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