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本实用新型公开了一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽的内壁粘接，所述收集槽的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器，所述收集槽的底部内壁上连接有螺纹软管，且螺纹软管...
该专利属于同辉电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过同辉电子科技股份有限公司授权不得商用。

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