一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽的内壁粘接，所述收集槽的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器，所述收集槽的底部内壁上连接有螺纹软管，且螺纹软管的中部对夹安装有阀门，所述螺纹软管的底部连接有顶部开口的收集筒，且收集筒的顶部卡接于过滤机构，所述收集筒一侧外壁的底部位置处连接有水泵，且水泵通过导管连接有固定于收集槽顶部一侧的水龙头，所述水龙头的出水端通过螺纹连接有喷头。本实用新型专利技术能够冲洗并通过超声波清理碳化硅晶片上附着的碎屑，能够过滤和收集碎屑，避免碎屑四处飞舞，避免造成环境污染。

A chip collecting device for silicon carbide wafer polishing

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置
本技术涉及碳化硅晶片
，尤其涉及一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置。
技术介绍
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石。碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。目前中国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种，均为六方晶体，比重为3.20～3.25，显微硬度为2840～3320kg/mm2。现有的碳化硅晶片在抛光过程中的废屑没有设置收集装置，容易造成碎屑随着风力四处飞舞，不仅难以清理，而且容易造成空气环境污染。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽，所述收集槽底部内壁上通过支架安装有漏屑板，且漏屑板的四边外壁与收集槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽(1)，其特征在于，所述收集槽(1)底部内壁上通过支架安装有漏屑板(3)，且漏屑板(3)的四边外壁与收集槽(1)的内壁粘接，所述收集槽(1)的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器(2)，所述收集槽(1)的底部内壁上连接有螺纹软管(4)，且螺纹软管(4)的中部对夹安装有阀门(5)，所述螺纹软管(4)的底部连接有顶部开口的收集筒(6)，且收集筒(6)的顶部卡接于过滤机构(7)，所述收集筒(6)一侧外壁的底部位置处连接有水泵(8)，且水泵(8)通过导管连接有固定于收集槽(1)顶部一侧的水龙头(9)，所述水龙头(9)的出水端通过螺纹连接有喷头(10)。/...

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，包括收集槽(1)，其特征在于，所述收集槽(1)底部内壁上通过支架安装有漏屑板(3)，且漏屑板(3)的四边外壁与收集槽(1)的内壁粘接，所述收集槽(1)的一侧内壁上通过螺丝固定有超声波发生器(2)，所述收集槽(1)的底部内壁上连接有螺纹软管(4)，且螺纹软管(4)的中部对夹安装有阀门(5)，所述螺纹软管(4)的底部连接有顶部开口的收集筒(6)，且收集筒(6)的顶部卡接于过滤机构(7)，所述收集筒(6)一侧外壁的底部位置处连接有水泵(8)，且水泵(8)通过导管连接有固定于收集槽(1)顶部一侧的水龙头(9)，所述水龙头(9)的出水端通过螺纹连接有喷头(10)。


2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述漏屑板(3)为底部凹陷的球壳状结构，且漏屑板(3)上开设有等距离分布的漏屑孔，漏屑孔的孔径为2-5mm。


3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，其特征在于，所述过滤机构(7)包括从上往下依次套接的第一滤筒(12)、第二滤筒(13)和第三滤筒...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅，崔素杭，纪亮亮，甘琨，李晓波，
申请(专利权)人：同辉电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13