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本实用新型提供一种用于微电子元器件剥料的超声换能器,至少包括:换能器本体和与所述换能器本体相连的工作头,所述工作头的工作面开设有凹陷开口腔室。所述超声换能器还包括负压管路,所述负压管路的吸口与所述凹陷开口腔室相联通。凹陷开口腔室使得振动能量...该专利属于苏州工业园区海纳科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州工业园区海纳科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种用于微电子元器件剥料的超声换能器,至少包括:换能器本体和与所述换能器本体相连的工作头,所述工作头的工作面开设有凹陷开口腔室。所述超声换能器还包括负压管路,所述负压管路的吸口与所述凹陷开口腔室相联通。凹陷开口腔室使得振动能量...