【技术实现步骤摘要】
一种用于微电子元器件剥料的超声换能器
本技术涉及一种超声换能器，特别是涉及一种用于微电子元器件剥料的超声换能器。
技术介绍
目前，微电子元器件的前期生产是通过采用UV胶带或者热剥离膜来固定元器件，在剥离前通过UV照射或者烘烤加热等方式可以使元器件与膜之间的胶水失去粘性，再使用超声换能器进行剥料。参考图1和图2，现有超声换能器包括换能器本体1和工作头，工作头是斜面形工作头21或圆面形工作头22，通过斜面形工作头21的斜面与膜接触传导振动，斜面容易造成剥料不均匀、膜易破裂，剥料效果差，且工作头经常需要调整安装角度，头部磨损较大，操作困难，寿命短；圆面形工作头22与膜接触时不能完全贴合，导致剥离不均匀，故剥离剥料效果差。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，用于解决现有技术中操作难、剥料效果差的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，至少包括：换能器本体和与所述换能器本体相连的工作头，所述工作...
【技术保护点】
1.一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，其特征在于，至少包括：换能器本体和与所述换能器本体相连的工作头，所述工作头的工作面开设有凹陷开口腔室。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，其特征在于，至少包括：换能器本体和与所述换能器本体相连的工作头，所述工作头的工作面开设有凹陷开口腔室。
2.根据权利要求1所述的一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，其特征在于：所述超声换能器还包括负压管路，所述负压管路的吸口与所述凹陷开口腔室相联通。
3.根据权利要求2所述的一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，其特征在于：所述负压管路位于所述工作头中，所述负压管路的出口位于所述工作头侧壁上。
4.根据权利要求3所述的一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，其特征在于：所述负压管路为L型第一管路，所述L型第一管路的中心线与所述工作头中心线共线。
5.根据权利要求2所述的一种用于微电子元器件剥料的超声换能器，其特征在于：所述负压管路位于所述工作头和换能器本体中，所述负压管路的出口位于所述换能器本体侧壁上...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐成刚，朱阿春，
申请(专利权)人：苏州工业园区海纳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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