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本实用新型公开了一种全自动IC平面固晶机的固晶机构,包括支撑架,设置于支撑架上方的X轴驱动组件、设置于支撑架下方的Y轴驱动组件,所述X轴、Y轴驱动组件之间通过移动平台进行刚性连接,所述移动平台上竖向设置有Z轴驱动组件,所述Z轴驱动组件驱动端...该专利属于深圳新益昌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳新益昌科技股份有限公司授权不得商用。
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