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本发明涉及对电子元件生产中产生的废气产物进行处理的一个方法。废气由某种惰性气体抽吸出来，与经过预加热的氧化气体完全混合，并在足够的温度下保持充分长时间的接触以完成焚化，再通过热交换冷却氧化生成物至凝结，然后收集固态的氧化物，洗涤残存气体，并...
该专利属于液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司授权不得商用。

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