下载废气的处理方法及处理装置的技术资料

文档序号:2362917

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本发明提供可不副生CO、不需复杂的燃烧控制、不影响废气的组成变化地对含有需高温分解的PFC的废气进行处理的方法。使向燃烧炉2中的一次燃烧区域送入的燃料气体和至少含有全氟化碳的废气在向一次燃烧区域送入的助燃性气体的存在下不完全燃烧,使燃烧焰为...
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