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本发明公开一种用于对半导体制造工艺中产生的半导体废气进行处理的净气器，该净气器以高温火焰燃烧废气、过滤及收集废气燃烧后所产生的微粒、将滤掉了微粒的废气排出到大气中。该半导体废气处理净气器包括：供应部分，用于供应半导体废气、燃料和氧气；燃烧器...
该专利属于清洁系统韩国股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清洁系统韩国股份有限公司授权不得商用。

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