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本实用新型涉及一种有源阳极和一种用于在衬底上电镀金属的电镀装置。在一个方面，有源(可消耗)阳极包括大致环形的主体和用于将阳极连接到电源的突起，其中突起从阳极的大致环形主的体向外延伸。大致环形的主体和突起的成分是相同的，并且在一些实施方案中，...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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