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本实用新型提供一种化学气相淀积设备、陶瓷加热盘。所述陶瓷加热盘包括加热盘体、陶瓷管，其特征在于，所述加热盘体包括由下至上依次层叠设置的第一陶瓷体、加热片及第二陶瓷体，经过烧结固定成为一体；所述第一陶瓷体的导热率低于所述第二陶瓷体的导热率。化...
该专利属于苏州珂玛材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州珂玛材料科技股份有限公司授权不得商用。

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