下载晶圆、晶圆检测系统与晶圆检测方法的技术资料

文档序号:23626195

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本申请提供一种晶圆、晶圆检测系统与晶圆检测方法,所述晶圆检测系统包含发光模块、收光模块以及处理模块。发光模块提供入射光至晶圆。收光模块用以接收晶圆的光线,以产生关联于晶圆的晶圆表面影像。处理模块耦接收光模块,用以判断晶圆表面影像是否对称,据...
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