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本发明提供一种阻抗匹配装置，即使在负载的阻抗连续地发生变化的情况下，也能够在早期改善高频电源与负载之间的阻抗不匹配。本发明的阻抗匹配装置被设置于高频电源系统中，该高频电源系统构成为经由机械地变更常数的匹配器将高频电源的输出供给至负载，阻抗匹...
该专利属于阿德特克等离子技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿德特克等离子技术公司授权不得商用。

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