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本发明公开了一种气体喷淋头组件，包括：安装基座、导热垫、接地环和气体喷淋头；所述接地环与安装基座之间设置导热垫，且三个部件固定在一起；气体喷淋头与安装基座之间设置导热垫，且三个部件固定在一起；其特征在于：所述导热垫包括：依次层叠设置的第一T...
该专利属于中微半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

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