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本发明实施例公开了一种掩膜版检测装置及方法、掩膜版库设备。其中，掩膜版检测装置包括：光源模块、掩膜版检测模块和信号处理模块；光源模块包括第一多路选通开关和多个第一光源；第一多路选通开关用于控制第一光源发出第一检测光线；掩膜版检测模块包括第二...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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