下载一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架的技术资料

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本发明涉及一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架。热丝支架包括上钼电极1,下钼电极2,陶瓷管3,热丝4,钼圆棒5,自重钼块6,隔热档板7,钼螺丝8和高温轻质弹簧9。将热丝安装在之架上并把整个支架竖直地放入真空腔中,之后上下钼...
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