一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架制造技术

本发明专利技术涉及一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架。热丝支架包括上钼电极1，下钼电极2，陶瓷管3，热丝4，钼圆棒5，自重钼块6，隔热档板7，钼螺丝8和高温轻质弹簧9。将热丝安装在之架上并把整个支架竖直地放入真空腔中，之后上下钼电极与隔热档板后的铜电极柱14连接。本发明专利技术有效地克服了现有的热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜时，热丝易脆断和热丝弯曲形变造成的厚度、质量不均匀问题。

A kind of hot wire support for the preparation of large-scale diamond film by hot wire chemical vapor deposition

【技术实现步骤摘要】
一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架
本专利技术涉及金刚石薄膜制备领域，尤其涉及一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架。
技术介绍
金刚石在所有物质中具有最高的硬度，室温下有最高的热导率，极低的热膨胀系数，高化学惰性，大的禁带宽度，最高的声传播速率，以及从远红外光区到深紫外光区的高透明性等十分优异的性能，使得金刚石具有广阔的应用前景，可以广泛地应用在汽车、航空航天，刀具，光学，高温电子等领域，是21世纪的新型功能材料。金刚石的禁带宽度为5.45eV,可在600℃的条件下工作，而硅在170℃时就失效，所以金刚石是制作高温电子器件的理想材料。金刚石的光学吸收在0.22μm左右，相当于真空紫外光波段，从此位置直到毫米波段，除位于～5μm附近由于双声子吸收而造成的微弱吸收峰（吸收系数～12.3cm-1）外，不存在任何吸收峰,因此金刚石的透射性和硬度允许它作为光学器件。在硬质合金刀具表面沉积一层金刚石薄膜，不仅极大地延长了刀具的使用寿命，加工质量也显著提高。除此之外，金刚石薄膜电极具有宽势窗，小的背景电流，高化学本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架，包括上钼电极1，下钼电极2，陶瓷管3，热丝4，钼圆棒5，自重钼块6，隔热档板7，钼螺丝8和高温弹簧9，其特征在于所述的上钼电极1和下钼电极2通过钼圆棒5连接固定；/n钼圆棒5与上电极1之间用绝缘陶瓷隔开，与下钼电极之间直接连接；/n上钼电极1的一侧等间距布置螺丝孔，螺丝孔的方向与上钼电极1的轴向垂直；/n自重钼块6上设有与上电极1上一侧的螺丝孔相对应的螺纹孔，且两端设有与钼圆棒5外径相等的圆孔，通过圆孔套在钼圆棒5上，位于上钼电极1和下钼电极2之间；/n高温弹簧8套在钼圆棒上，布置在自重钼块6和下钼电极2之间；/n陶瓷管3套在上钼电极...

【技术特征摘要】
1.一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架，包括上钼电极1，下钼电极2，陶瓷管3，热丝4，钼圆棒5，自重钼块6，隔热档板7，钼螺丝8和高温弹簧9，其特征在于所述的上钼电极1和下钼电极2通过钼圆棒5连接固定；
钼圆棒5与上电极1之间用绝缘陶瓷隔开，与下钼电极之间直接连接；
上钼电极1的一侧等间距布置螺丝孔，螺丝孔的方向与上钼电极1的轴向垂直；
自重钼块6上设有与上电极1上一侧的螺丝孔相对应的螺纹孔，且两端设有与钼圆棒5外径相等的圆孔，通过圆孔套在钼圆棒5上，位于上钼电极1和下钼电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：周检，陈阿青，
申请(专利权)人：杭州睿清环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33