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静电吸盘系统、成膜装置、被吸附体分离方法、成膜方法及电子设备的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:23621882
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本发明的静电吸盘系统的特征在于,包括:包含电极部的静电吸盘;用于向所述静电吸盘的所述电极部施加电压的电压施加部;及用于控制所述电压施加部进行的电压的施加的电压控制部,所述电压控制部控制所述电压施加部,以便对吸附有第一被吸附体和隔着所述第一被...
该专利属于佳能特机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能特机株式会社授权不得商用。
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