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本发明目的在于提供一种薄膜体声波谐振器，通过键合层制备结合布拉格反射层和空腔结构的体声波谐振器，以解决薄膜体声波谐振器难以同时获得较大的结构强度和较好声学反射效果的技术问题；其结构包括：自上而下依次设置的上电极、压电层和下电极；所述下电极的...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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