温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种超反射镜,其包括基底,所述基底为熔石英,在所述基底上交替叠加钨膜和硅膜,靠近所述基底侧的膜为硅膜,最外层膜为钨膜,所述钨膜和所述硅膜交替设置的结构形成若干组周期多层膜。与现有技术比较本发明的有益效果在于:本发明提供了的超反射镜...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种超反射镜,其包括基底,所述基底为熔石英,在所述基底上交替叠加钨膜和硅膜,靠近所述基底侧的膜为硅膜,最外层膜为钨膜,所述钨膜和所述硅膜交替设置的结构形成若干组周期多层膜。与现有技术比较本发明的有益效果在于:本发明提供了的超反射镜...