下载一种声光晶体与换能器的键合结构及制备的技术资料

文档序号:23603742

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本发明提出一种声光晶体与换能器的键合结构及制备方法,常见的声光晶体和换能器的键合结构是通过铟冷焊工艺来键合,即在声光晶体和换能器表面分别依次镀制打底层、电极层和焊接层,本发明提出电极层同时兼作为焊接层,使用磁控溅射的方式在声光晶体和换能器表...
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