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北京纳米能源与系统研究所
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用于同时测量弯曲应变和压力的传感器制造技术
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下载用于同时测量弯曲应变和压力的传感器的技术资料
文档序号:23602406
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本发明公开了一种用于同时测量弯曲应变和压力的传感器,所述传感器包括从下到上依次设置的第一支撑层、金属薄膜层、介质层、第二支撑层以及电极层;所述金属薄膜层嵌置在所述第一支撑层与所述介质层之间,用于感应弯曲应变,所述电极层与所述金属薄膜层平行地...
该专利属于北京纳米能源与系统研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京纳米能源与系统研究所授权不得商用。
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