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公开了掩模衬底检查系统。掩模衬底检查系统包括测量目标模块、相机模块和控制模块。测量目标模块包括掩模衬底和向掩模衬底供给光的表面光源。相机模块使用来自表面光源的光来生成掩模衬底的图像信息。控制模块在不损坏掩模衬底的情况下使用图像信息来确定掩模...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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