下载一种便于导向的薄膜生长设备的技术资料

文档序号:23596880

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本发明公开了一种便于导向的薄膜生长设备,包括下壳、单向阀和基板,所述下壳的顶部设置有上壳,所述下壳与上壳之间开设有生长室,所述下壳靠近生长室的底部固定有支架,其中,所述支架的顶部安装有托盘,所述上壳靠近生长室的顶部安装有布气架,所述布气架的...
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