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本实用新型公开了一种MEMS微镜测试系统，包括测试台和激光器，测试台安装有探针和载台；所述载台上方依次设置有分光镜、屏幕和相机，激光器发射的激光照射到分光镜上，分光镜将激光反射到载台。可以直接测试没有封装的MEMS微镜的性能，一旦检测出不合...
该专利属于无锡微视传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡微视传感科技有限公司授权不得商用。

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