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本发明涉及干燥机技术领域，具体涉及一种回转摆动式晶圆清洗干燥机，包括底板（11）、立柱、铰接转盘（13）以及电机；所述底板（11）上设有圆形导向轨道（2）；所述圆形导向轨道（2）设有低凹段（21）；所述回转摆动式晶圆清洗干燥机还包括挂具机构...
该专利属于荆门禾硕精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过荆门禾硕精密机械有限公司授权不得商用。

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