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一种制备高散热陶瓷封装基板的方法技术
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文档序号:23579910
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本发明公开了一种制备高散热的陶瓷封装基板的方法,包括以下步骤:在清洗后的陶瓷基板上激光标刻形成金属化线路图案,获得厚度为0.5~30μm的混合物层,该混合物层由氧化物与单质金属构成;在金属化线路图案区域进行化学镀铜,形成厚度为0.1~50μ...
该专利属于北京大学东莞光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学东莞光电研究院授权不得商用。
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